臭氧氧化法脫硝主要是利用臭氧的強(qiáng)氧化性，將不可溶的低價(jià)態(tài)氮氧化物氧化為可溶的高價(jià)態(tài)氮氧化物，然后在洗滌塔內(nèi)將氮氧化物吸收，達(dá)到脫除的目的。

該脫硝系統(tǒng)在不同的NOx等污 染物濃度和比例下，可以同時(shí)高 效率脫除煙氣中的NOx、二氧化硫和顆粒物等污染物，同時(shí)還不影響其他污染物控制技術(shù)，是傳統(tǒng)脫硝技術(shù)的一個(gè)高 效補(bǔ)充或替代技術(shù)。

按照O3對(duì)于NOx復(fù)雜的氧化反應(yīng)過程，實(shí)際上通過N的價(jià)態(tài)變化體現(xiàn)出來，主要的反應(yīng)如下：

2NO+3O3=NzO5+3O2

2NO2+O3=N2O5+O2

NO+O3=NO2+O2

4NO2+O2+2H2O=4HNO3

2NO+02=2NO2

4NO2+O2+2H2O=4HNO3

MgO+2HNO3=Mg(NO3)2+H20

與氣相中的其他化學(xué)物質(zhì)如CO，SOx等相比，NOx可以很快地被臭氧氧化，這就使得NOx的臭氧化具有很高的選擇性。

因?yàn)闅庀嘀械腘Ox被轉(zhuǎn)化成溶于水溶液的離子化合物，這就使得氧化反應(yīng)更加完全，從而不可逆地脫除了NOx，而不產(chǎn)生二次污染。經(jīng)過氧化反應(yīng)，加入的臭氧被反應(yīng)所消耗，過量的臭氧可以在噴淋塔中分解。

除了NOx之外，一些重金屬，如汞及其他重金屬污染物也同時(shí)被臭氧所氧化。煙氣中高濃度的粉塵或固體顆粒物不會(huì)影響到NOx的脫除效率。